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美國Laurell ø150mm旋涂機 H6-23勞雷爾 H6-23?旋涂機 結(jié)構(gòu)緊湊，功能，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑達ø 150mm 的晶圓和 5“ × 5“ (127mm × 127mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圓）。
產(chǎn)品型號：H6-23廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-09-02訪 問 量：325
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美國Laurell ?150mm旋涂機 H6-23
勞雷爾 H6-23旋涂機 結(jié)構(gòu)緊湊，功能，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑達? 150mm 的晶圓和 5" × 5" (127mm × 127mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圓）。
封閉式碗狀設(shè)計，加上過程控制器的精確性，可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部，以防止化學(xué)品意外滴落到基材上。
美國Laurell ?150mm旋涂機 H6-23
勞雷爾 H6-23旋涂機 結(jié)構(gòu)緊湊，功能，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑達? 150mm 的晶圓和 5" × 5" (127mm × 127mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圓）。
封閉式碗狀設(shè)計，加上過程控制器的精確性，可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部，以防止化學(xué)品意外滴落到基材上。
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