美國Laurell ø200mm旋涂機

美國Laurell ø200mm旋涂機 WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂機結(jié)構(gòu)緊湊，功能。這款 650 系列涂布機系統(tǒng)可容納直徑達ø 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板，最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于直徑ø 100 毫米的硅晶圓）。

產(chǎn)品型號：WS-650-8B
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-09-02
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美國Laurell ?200mm旋涂機 WS-650-8B

Laurell WS- 650-8 B 旋涂機結(jié)構(gòu)緊湊，功能。這款 650 系列涂布機系統(tǒng)可容納直徑達? 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板，最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于直徑? 100 毫米的硅晶圓）。

Laurell 獨的特的內(nèi)部碗狀設計消除了濺回現(xiàn)象，因此無需安裝“濺水環(huán)"。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲水箱，既實用又方便。

封閉式碗狀設計，加上過程控制器的精確性，可使大多數(shù)涂層材料在靜止狀態(tài)下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導到系統(tǒng)后部，以防止化學品意外滴落到基材上。

美國Laurell ?200mm旋涂機 WS-650-8B

Laurell 獨的特的內(nèi)部碗狀設計消除了濺回現(xiàn)象，因此無需安裝“濺水環(huán)"。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲水箱，既實用又方便。

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